技术指标概述
测试功率 80-150kW
阳极流量 Up to 3500SLPM
阴极流量 Up to 10000SLPM
温度响应 自动
压力响应 手动/自动
流量监控 自动
自动程序 具备
数据采集分析 具备
负载 自动馈电式
报警 具备流量、压力、温度响应偏差保
护设定及警示功能,具备压力、温
度、压差上限保护设定、警示及自
主保护功能。
安全联锁 具备
技术指标概述
测试功率 80-150kW
阳极流量 Up to 3500SLPM
阴极流量 Up to 10000SLPM
温度响应 自动
压力响应 手动/自动
流量监控 自动
自动程序 具备
数据采集分析 具备
负载 自动馈电式
报警 具备流量、压力、温度响应偏差保
护设定及警示功能,具备压力、温
度、压差上限保护设定、警示及自
主保护功能。
安全联锁 具备